現(xiàn)在的半導(dǎo)體行業(yè)因?yàn)楫a(chǎn)品要求，一般都是需要在無(wú)塵室中完成，這樣既能保證產(chǎn)品的質(zhì)量，同時(shí)也能提高我們的效率，那么半導(dǎo)體無(wú)塵室如何加濕呢？下面中凈為大家?guī)?lái)有效加濕方案。

現(xiàn)階段半導(dǎo)體無(wú)塵室對(duì)溫度濕度的操縱范疇通常為：溫度22+/-0.5℃，環(huán)境濕度45+/-3%RH。文中根據(jù)對(duì)目前凈化室溫濕度記錄自動(dòng)控制系統(tǒng)的科學(xué)研究，引進(jìn)控制器設(shè)計(jì)，以提升溫濕度記錄操縱的預(yù)期效果。對(duì)氣體單純性地加溫或致冷(未做到飽和)全過(guò)程，是含濕量不變的全過(guò)程，即相對(duì)濕度不變的全過(guò)程。飽和蒸汽通過(guò)風(fēng)機(jī)盤(pán)管加溫，溫度上升而空氣濕度降低。

1、選用加濕器對(duì)半導(dǎo)體無(wú)塵室加濕：采用虹吸現(xiàn)象做霧化系統(tǒng)軟件基本原理，分離出來(lái)的壓縮空氣和液態(tài)在精制的不銹鋼板噴嘴處匯聚，完成二級(jí)做霧化得到較好的噴霧器實(shí)際效果，噴霧器顆粒物直徑為5-10um。噴霧器顆粒物在空氣中飄浮時(shí)，吸咐空氣中的煙塵，而且持續(xù)報(bào)團(tuán)凝結(jié)，之后受品質(zhì)擴(kuò)大受作用力的作用下移，進(jìn)而到達(dá)凈化室內(nèi)空氣的實(shí)際效果，等同于給氣體裝了一層濾網(wǎng)。“霧王”蟹鉗型噴頭互撞構(gòu)造完成三級(jí)汽化，比一般的二液體加濕器做霧化更細(xì)致；3.3萬(wàn)-4萬(wàn)HZ聲多次做霧化剪截水顆粒物,粒度在5-7.5μm,確保加濕地區(qū)路面及機(jī)器設(shè)備表層不浸濕、不冷凝水、不返潮。

2、選用針對(duì)凈化室的溫濕度記錄操縱，最首要的二塊是新風(fēng)空調(diào)箱和干風(fēng)機(jī)盤(pán)管。新風(fēng)空調(diào)箱除開(kāi)要確保外部空氣通過(guò)在其中的初、中合高效過(guò)濾網(wǎng)，把空氣中的煙塵顆粒物過(guò)慮掉外，還需要依據(jù)凈化室里邊的溫濕度記錄狀況調(diào)節(jié)排氣口的溫濕度記錄，以確保送進(jìn)的新風(fēng)系統(tǒng)在規(guī)范的溫濕度記錄范疇內(nèi)。而干風(fēng)機(jī)盤(pán)管是依據(jù)凈化室里邊安裝的溫濕度傳感器精確測(cè)量的值來(lái)調(diào)節(jié)干風(fēng)機(jī)盤(pán)管涼水閥的開(kāi)啟度，從而調(diào)整送風(fēng)和排風(fēng)混和后的溫濕度記錄，以確保達(dá)到半導(dǎo)體加工工藝的溫濕度記錄要求。

3、在半導(dǎo)體無(wú)塵室的溫濕度記錄處理方式中，為了更好地處理去濕問(wèn)題，通常選用環(huán)境濕度優(yōu)先選擇的方式，涼水閥關(guān)鍵用于去濕，與此同時(shí)也導(dǎo)致溫度的降低，隨后根據(jù)開(kāi)水閥的再熱，使溫濕度記錄均能做到所需求的值。那樣的作法盡管可以考慮設(shè)計(jì)規(guī)定，但在非常多的情況下，冷水熱水閥使動(dòng)能互相相抵，導(dǎo)致了新能源的消耗。

以上就是中凈為大家介紹的“半導(dǎo)體無(wú)塵室加濕方案”，希望能對(duì)您有所幫助。我們既可以通過(guò)加濕器來(lái)解決，同時(shí)也可以采用其它的加濕系統(tǒng)來(lái)完成。

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